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RVG高壓差羅茨泵主要是由泵頭、電機(jī)、列管式換熱器組成，由于其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以允許它在高壓差環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。

運(yùn)行原理如右圖，兩個(gè)三葉轉(zhuǎn)子沿相反方向運(yùn)轉(zhuǎn)，通過兩個(gè)三葉轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)吸入介質(zhì)氣體，對(duì)其進(jìn)行壓縮并將其輸送列管式換熱器，經(jīng)由列管式換熱器冷卻后排至下一級(jí)真空泵入口或直排大氣，其中部分冷卻后的介質(zhì)氣體回流到泵體的排氣側(cè)，去直接冷卻其中的兩個(gè)三葉轉(zhuǎn)子，降低在高壓差環(huán)境下產(chǎn)生的溫度，并且控制在一定范圍內(nèi)，確保羅茨泵穩(wěn)定運(yùn)行。